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Lam TCP 9600

Lam TCP 9600

  • 所屬分類:等離子體刻蝕機Plasma etcher

  • 點擊次數:
  • 發布日期:2020/06/16
  • 在線詢價
詳細介紹

Lam TCP 9600

Lam 9600 configuration information:

1.configured 8" wafer

2.TCP Etch source for metal etching

3.DSQ Module for resist strip

4.ESC with He cooling

5.Edwards STP-H1000C Turbo pump

6.AE RFG1250 RF generator

7.Classic software

8.Optical End point detection

9.Gas lines with Unit MFC

10.BCl3 200sccm

11.Cl2 100sccm

12.N2 20 sccm

13.Ar 100sccm

14.BCl3 50sccm

15.O2 500sccm

16.CF4 100sccm

17.O2 2L

18.M&W Chiller

19.3x Ebara A30 Dry pumps


相關標簽:PlasmaetcherLamTCP9600price,LamTCP9600wholesale化學氣相沉積,LamTCP9600價格,LamTCP9600批發

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