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Suss ACS300+ coater/developer
Suss ACS300+ coater/developer
所屬分類：黃光Lithography
- 點擊次數：
- 發布日期：2020/07/06
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詳細介紹
Suss ACS300+ coater/developer configuration information：
1.wafer size:300mm
2.Vintage: 2005
3.4x FOUPs
4.2 coater modules(three resist lines)
5.2 developer modules(two developer lines)
6.4x Hotplates, 2x PI Hotplates, 3xCoolplates
7.Chemical supply cabinet with autoswitch
8.Missing hard drive, 3x Cybor resist pumps, 1x developer module spin motor
