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Magnetron sputtering (磁控濺射台))

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VeecoRF350

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VeecoRF350

  • 所屬分類:刻蝕機Etcher

  • 點擊次數:
  • 發布日期:2020/06/16
  • 在線詢價
詳細介紹


Veeco RF350 IBE configuration information:

1.Veeco RF350 Ion milling tool (IBE)

2.Manual load

3.One etch chamber with 6'' configuration

4.Veeco 350 ion source with 12.5'' grids

5.Seren RF power supply

6.Maglev turbo pump

7.Neslab HX150 chiller


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