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Nissin Exceed 3000AH medium current implanter

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詳細介紹

Nissin Exceed 3000AH medium current implanter configuration information：

1.Currently configured for 300mm wafer

2.S/N: F01653, F01655, F01659

3.Vintage: 2005

4.B+ 5-250keV, B++ -500keV

5.P+ 5-250keV, P++ -500keV

6.AS+ 5-180keV, As++ -400keV

7.In+ 10-120keV, In++ -400keV

8.Tile angle 0-60deg. twist angle 0-359 deg

9.Plasma Flood Gun(RF)

10.Ion Source: IHC

所屬分類：注入機Implanter