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Aviza/Spts

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Aviza/Spts

  • 所屬分類:刻蝕機Etcher

  • 點擊次數:
  • 發布日期:2020/06/16
  • 在線詢價
詳細介紹


Aviza/SPTS Omega ICP etcher configuration information:

1.Configured for 8'' wafer

2.automatic wafer handling

3.Cl2 based etching process

4.3 process modules

5.Inspected by SPTS OEM engineer

6.Missing 1x Mag7 robot

7.Missing 1x VCE B controller

8.Missing 1x 24V DC Power supply


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