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Magnetron sputtering (磁控濺射台))

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ECLIPSE1

ECLIPSE1

  • 所屬分類:蒸發濺射台Evaporator sputter

  • 點擊次數:
  • 發布日期:2020/07/07
  • 在線詢價
詳細介紹


ECLIPSE1 configuration information:

  1. Serial number:18625 

  2. Softwre Version:N/A

  3. Wafer Size:125mm

  4. Compressor:CTI8510

  5. Controller Input voltages:208V/100A

  6. Chamber: MFC

  7. Power Supply:AE/Delta Master

  8. RF Generator:MODEL-ACG-10B

  9. DC power-AE/Delta Slave

  10.Vacuum Pump


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