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Magnetron sputtering (磁控濺射台))

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KDF943i

KDF943i

  • 所屬分類:蒸發濺射台Evaporator sputter

  • 點擊次數:
  • 發布日期:2020/07/07
  • 在線詢價
詳細介紹

蒸發噴射台新設備-3.jpg

     KDF943i-3i435 configuration information:

     1.  Mainframe cables

     2.   Standard

          (1)Loadlock Chamber

          (2)Process Chamber     

     3.   AC BOX

     4.   Safety Moudle

     EMO Switch(2)

5.Operator interface

     EMO Switch(1)

     Touch monitor

     Service Monitor Table

6.   Chamber Base pressure-<5.0x10-7torr

7.    3/8"hose

8.    Dry pump

9.    Compressor

10. Target sorce


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